電源開(kāi)功率后，PF輸出功率不穩(wěn)定，波動(dòng)范圍很大

1.電源匹配放電后，PF功率跳動(dòng)范圍很大。輝光閃爍。遇上這種情況時(shí)請(qǐng)及時(shí)關(guān)閉功率輸出。電源功率輸出不穩(wěn)定極容易燒壞電源。

2.出現(xiàn)這種問(wèn)題的原因主要是輸出功率太高，可以降低輸出功率。還有就是腔體真空度不穩(wěn)定，檢查一下腔體的真空度與氣流量是否是恒定的。另外就是匹配不好。最好是用低功率100/200W起輝后再加到需要的功率。因?yàn)殡娫丛诟吖β势疠x時(shí)容易出現(xiàn)不穩(wěn)定現(xiàn)象。